空氣經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后，經(jīng)主管道的過(guò)濾器去除大于1微米的塵埃粒子以及水霧和油霧，由冷凍式干燥機(jī)進(jìn)行淺度除水，經(jīng)高效除油過(guò)濾和超高效除油過(guò)濾去除大于0.01微米的塵埃粒子，使水霧和油霧含量不超過(guò)0.01mg/m3，然后進(jìn)入吸附式干燥機(jī)進(jìn)行深度干燥，使氣源露點(diǎn)達(dá)到要求的-50℃以下，再經(jīng)通用除塵過(guò)濾和高效除塵過(guò)濾器去除大于0.01微米的塵埃粒子成為合格的原料氣源。

合格氣源經(jīng)流量調(diào)節(jié)閥、減壓閥、壓力、流量計(jì)等進(jìn)入臭氧放電室。在其內(nèi)部分氧氣通過(guò)中頻高壓放電變成臭氧，產(chǎn)品氣體經(jīng)溫度、壓力監(jiān)測(cè)調(diào)節(jié)后由臭氧出氣口產(chǎn)出。

臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的熱量需要釋放出來(lái)，其冷卻系統(tǒng)通過(guò)流過(guò)放電管外壁的冷卻水來(lái)實(shí)現(xiàn)。直接通入臭氧發(fā)生器的冷卻水要求水質(zhì)較高，當(dāng)冷卻水水質(zhì)不好的時(shí)候，通常采用板式換熱系統(tǒng)。