臭氧發生器在工作過程中，電耗大都以熱量的形式散發出來，為降低臭氧分解，溫度必須控制在30℃以下，臭氧發生器產生的熱量需要釋放出來，臭氧發生器冷卻系統通過流過放電管外壁的冷卻水來實現。任何不銹鋼均對氯離子腐蝕相當敏感，特別是氯離子濃度高時需要相當重視：腐蝕的能力受水溫和PH值的影響，水溫越高PH越低腐蝕越快。臭氧放電室對冷卻水質要求：PH值6~9，渾濁度≤1度（NTU），壓力0.2~0.4Mpa，溫度≤28℃，氯離子峰值＜150mg/l。

  當冷卻水水質不好的情況下，一般采用封閉式循環冷卻水系統， 外部采用水質相對較差的水源通過板式換熱器對內循環水冷卻。而內循環水一般采用去離子水或軟化水，保證對臭氧發生器放電室不腐蝕，不結垢。

  循環冷卻水管道材質要求：內循環冷卻水一般使用SS304以上無縫不銹鋼管或者UPVC給水管材，外循環冷卻水需要更加外循環冷卻水水質確定，主要考慮避免PH值對鐵質、氯離子等對不銹鋼的腐蝕以及結構。

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