臭氧化法水處理裝置的管道設備基本上是用一般材料制造的，這些材料廣泛用于普通水處理系統中。防腐材料僅用于臭氧化氣的輸送，臭氧發生器及水-臭氧接觸反應器的制造。為了節省稀有貴重金屬（不銹鋼），反應器可采用涂防護層的碳質鋼制造。搪瓷涂面及粉狀聚合材料蓋面是最有效和最可靠的防護層（在用臭氧化法處理含氰污水時，水臭氧接觸反應器采用碳質鋼并以環氧樹脂為主要成分的環氧型混合防腐劑，且已有一定的運轉經驗）。處理飲用水的鼓泡反應器經常具有龐大的體積，并采用混凝土建造。

從臭氧發生器至反應器對臭氧化氣的輸送常常采用不銹鋼管道。聚氯乙烯（添加光穩定劑煙道碳黑）管道對臭氧的作用也具有足夠的穩定性。但是臭氧介質中長期使用后，其強度有所下降。最好采用不銹鋼鋼管，因為它既具有很高的穩定性，也具有足夠強的強度。

臭氧輸送是的困難在于它是一種不穩定的氣體，無論在均質接觸劑（鹵素，光線，氮氧化物，碳水化合物，過氧化物）或是在非均質接觸劑（金屬及其氧化物）作用下都會分解。因此，采用玻璃管（型號CT8及CT4）輸送臭氧是一種最有前途的方法。這種玻璃管的工作壓力相應為0.8MPa及0.4MPa，其直徑為20~122mm，長度為3.5~10m。但工業生產實踐中采用玻璃管輸送臭氧的經驗還沒有。

輸送臭氧管道法蘭連接處的密封墊可采用塑料墊（增塑后的軟聚氯乙烯塑料，氟化塑料，特氟龍等），建議在法蘭表面上設密封止氣線槽。

在鼓泡反應器中采用微孔陶瓷和金屬布氣元件分配臭氧化氣時，當其安裝以后，應利用壓縮空氣對管道進行吹洗，以去除污染物和碎屑。