在設計臭氧發生器法處理站時，常將由共同工藝流程聯系起來的各種房間布置在同一樓房內。在大型臭氧發生器法水處理站中的控制間，附屬生活間，電氣設備間常設在獨立的樓房中，但和工藝樓房有通道相連。臭氧發生器法水處理站平面布置必須考慮臭氧制造和利用的工藝操作順序，臭氧化氣的毒性及其不穩定性。臭氧發生器法水處理裝置常根據其不同的功能分組進行布置：空氣壓強和空氣處部分，臭氧制造部分，供電部分和水-臭氧接觸裝置部分。第一部分最好有自己單獨房間。這樣的分組布置使得將有可能出現危害性的臭氧高濃度的房間分離開來。各組房間相對位置雖無一定要求，但應注意到臭氧的毒性和不穩定性，即臭氧制造間與臭氧接觸裝置間應緊密相連（為了縮短輸氣管路）。

布置臭氧發生器法水處理裝置時應能保證設備維護方便，大修時易拆裝，盡量縮短臭氧化氣輸氣管路和自流管路的長度。布置設備時應遵守相應的建筑法規，照明標準，技術安全的規則和標準，勞保和安裝的通道，人流通道以及有可能清理設備的工作表面。設備，控制盤，建筑構造表面的突出部分之間的凈空應不小于1m。機器維護之間（空氣壓縮機，鼓風機，水泵）的通道寬度凈不小于1m（小型機器除外，如機器的寬度與高度均小于800mm）。對于水型機器則減少至0.8m。需周期性維護的設備，發如控制盤的維護通道寬度應不小于0.8m。安裝臭氧發生器時需考慮到發生器電極的拆裝。