電暈放電合成臭氧是目前世界上應用最多的臭氧制取技術，此技術能構使臭氧產量單臺達500 kg/h以上。

電暈放電法（無聲放電或輝光發電法）就是一種干燥的含氧氣體流過電暈放電區產生臭氧的方法。常用的原料氣體有：氧氣空氣以及含有氮、二氧化碳，或許還有其他惰性稀釋氣體的含氧混合氣體。

臭氧的產生機理：

雖然有若干機理可能同電暈內臭氧的形成有關，但①式特殊反應途徑被認為是主要的。

e + O₂→ 2O + e             ①

利用高速電子轟擊氧氣，其分解成氧原子。高速電子具有足夠的動能（6～7eV）,緊接著通過三體碰撞反應形成臭氧。

O + O₂ + M →O₃ +M       ②

式中M是氣體中任何其它氣體分子，不過與此同時，原子氧和電子也同樣同臭氧反應形成氧氣。

O + O₃ →2O₂                ③

e + O₃→O + O₂ +e         ④

此外，電暈內的氣體是處于可促進臭氧分解反應的高溫下，所以凈臭氧產量或出口產氣組成是形成和分解臭氧所有反應的總和。凈產率依眾多因素而變，包括：原料氣的氧氣含量和溫度、原料氣含的污染物、達到的臭氧濃度、電暈中的功率密度、冷卻劑的溫度和流量及冷卻系統的效率。這些因素都影響著實用的、經濟上有吸引力的臭氧發生器和系統的設計。