臭氧的發(fā)現(xiàn)及認識過程，是人類應(yīng)用臭氧的開始，臭氧應(yīng)用使臭氧制取技術(shù)得以快速發(fā)展，人工產(chǎn)生臭氧的方法按原理分為光化學(xué)、電化學(xué)、原子輻射和電暈放電等幾種。原子輻射法用得極少，工業(yè)應(yīng)用臭氧源大多采用氣體電暈放電型的臭氧發(fā)生器。目前用于實際的臭氧合成技術(shù)有如下幾種：

光化學(xué)法——紫外線臭氧發(fā)生器

此方法是光波中的紫外光會使氧氣分子O₂分解并聚合成臭氧O₃，大氣上空的臭氧層即是由此產(chǎn)生的。

波長λ＝185nm（10^-9m）的紫外光效率最高，此時，光量子被O₂吸收率最大。其反應(yīng)基本過程為：

O₂+ hr→O + O

O₂+ O + M→O₃+M

hr——紫外光量子；

M——存在的任何惰性物體，如反應(yīng)器器壁、氮、二氧化碳氣體分子等。

使用185nm紫外光產(chǎn)生臭氧的光效率為130gO₃/kw·h，是比較高的。但目前低壓汞紫外燈的電－光轉(zhuǎn)換效率很低，只為0.6%～1.5%，則紫外法產(chǎn)生臭氧的電耗高達600kwh/kgO₃，即1.5gO₃/kw·h，工業(yè)應(yīng)用價值不大。

紫外法產(chǎn)生臭氧的優(yōu)點是對濕度、溫度不敏感，具有很好的重復(fù)性。同時，可以通過燈功率線性控制臭氧濃度、產(chǎn)量。這兩個特性對于臭氧用于人體治療與作為儀器的臭氧標(biāo)準(zhǔn)源是非常合適的。